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   薄膜的形成与生长过程大体可分为外来原子在基底(或称为基片、基板或衬底)上的凝结、扩散、成核、晶核生长、原子或粒子团的接合及连接成膜等阶段。薄膜的形成与生长过程不仅与薄膜材料和基底材料有关，还受原子和离子的状态及能量、沉积速率、基底温度、杂质等多种因素的影响。薄膜的生长过程将决定薄膜的微观组织与结构，而薄膜的微观组织与结构直接决定薄膜的物理化学性能。因此，在讨论薄膜结构和性能之前，先研究薄膜的形成与生长是十分必要的。虽然薄膜的制备方法多种多样，薄膜形成的机理各不相同。但在许多方面，不同的制膜方法和薄膜的形成与生长过程仍具有许多相同的特点。在本章中，我们主要以真空制膜为例进行讨论。