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技术文章

薄膜表面扩散过程

入射到基底表面上的气相原子在表面上形成吸附原子后,它便失去了沿表面法线方向的动能,只具有与表面水平方向相平行运动的动能。依靠这种动能,吸附原子可以在表面上作不同方向的表面扩散运动。在表面扩散过程中,单个吸附原子间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。因此凝结就是指吸附原子结合成原子对及其以后的过程。所以吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要条件。表面扩散能比吸附能小得多,大约是吸附能的1/6~1/2。

吸附原子在一个吸附位置上的停留时间称为平均表面扩散时间。

吸附原子在表面停留时间经过扩散运动所移动的距离(从起始点到终点的间隔)称为平均表面扩散距离。