欢迎访问扬州欣达电子有限公司网站! 关于我们 联系我们

专注于薄膜开关,薄膜面板等研发与生产

安全省心,有效控制成本

img

咨询热线:

0514-86859177

img

咨询热线:

13805251384

您的位置:首页 > 新闻资讯 > 技术文章
PRODUCT CENTER
产品中心
行业资讯
企业动态
技术文章
咨询热线

0514-86859177

技术文章

薄膜岛状生长模式

在岛状生长模式下,到达基片上的原子首先凝聚成无数不连续的小核,后续飞来的原子不断集聚在核附近从而使核在三维方向不断成长,最终形成连续的薄膜。因此岛状生长模式又称为核生长模式。大部分薄膜的形成过程都属于这种生长类型。这种生长模式的过程如图5一7(a)所示。岛状生长模式的生长过程可以分成如下几个阶段。

1)成核阶段

到达基片上的原子,其中的一部分与基片原子交换能量后,仍具有相当大的能量,可以返回气相。而另一部分则被吸附在基片表面上.这种吸附主要是物理吸附,原子将在基片表面停留一定的时间。由于原子本身还具有一定的能量,同时还可以从基片得到热能,因此原子有可能在表面进行迁移或扩散。在这一过程中,原子有可能再蒸发、也可能与基片发生化学作用而形成化学吸附,还可能遇到其它的蒸发原子而形成原子对或原子团。

发生后两种情况时,原子再蒸发与迁移的可能性极小.从而逐渐成为稳定的凝聚核。

2)小岛阶段

当凝聚晶核达到一定的浓度以后,继续蒸发就不再形成新的晶核。新蒸发来的吸附原子通过表面迁移将聚集在已有晶核上,使晶核生长并形成小岛,这些小岛通常是三维结构,并且多数已具有该种物质的晶体结构,即已形成微晶粒。

3)网络阶段

随着小岛的长大,相邻的小岛会互相接触并彼此结合,结合的过程类似两小液滴结合成一个大液滴的情况,这是由于小岛在结合时释放出一定的能量,这些能量足以使相接触的微晶状小岛瞬时熔化,在结合以后,由于温度下降所生成的岛将重新结晶。随着小岛的不断结合,将形成一些具有迷津结构的网络状薄膜。

4)连续薄膜

随着蒸发或溅射的继续进行,吸附原子将填充岛与.岛之间的间隔,也有可能在岛与岛之间生成新的小岛,由小岛的生长来填充空沟道,*形成连续薄膜。

不同的物质经历这四个阶段的情况是不同的。例如铝膜和银膜都是岛状生长类型的,但是铝膜只有在生长的最初阶段呈现岛状结构,然后在薄膜很薄时就能形成连续薄膜.而银膜则要在薄膜较厚时才能形成连续薄膜。图5一8是Mos2基片上银膜形成过程
示意图,图5一8中(a)是晶核阶段,(b)是小岛阶段,(c)是网络阶段,(d)是沟道逐渐被填充而形成连续薄膜。