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    随着小岛不断成长，小岛间距离逐渐减小，*相邻小岛可相互结合并成为一个大岛，如图5一10所示。小岛合并长大后，在基片表面上占据面积减小，表面能降低，基片表面上空出的地方可再次成核。岛的合并与固相烧结相类似。假设两个小岛都是半径为r的球形，结合部曲率半径为r'，小岛接触后经历时间为t，它们之间的关系可用下式表示:

式中V是原子体积，n是吸附原子在岛上的表面密度，D是吸附原子扩散系数,是表面自由能，n和m为常数，k是玻耳兹曼常数，T是*温度。