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技术文章

连续膜阶段

    在沟渠和孔洞消除之后,再入射到基片表面上的气相原子便直接吸附在薄膜上、通过合并作用而形成不同结构的薄膜。有些薄膜在岛的合并阶段,小岛的取向就发生显著变化。对于外延薄膜的形成,其小岛的取向相当重要。在形成多晶薄膜时,除了在外延膜中小岛合并时必须有相互一定的取向之外,在合并时还出现一些再结晶现象。以致薄膜中的晶粒大于初始核之间的距离。即使基片处在室温条件下,也有相当数量的再结晶发生。每个晶粒大约包含100个或更多的初始核区域。由此可以看出,薄膜中晶粒尺寸的大小取决于核或岛合并时的再结晶过程,而不取决于初始核的密度。