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非晶薄膜的生长特性

非晶态是一种近程有序结构。就是在2个一3个原子距离内原子排列是有秩序的,大于这个距离其排列是杂乱无规则的。例如,非晶硅的每个原子仍为四价共价键,并且与最近邻原子构成四面体,仍是有规律的。非晶态的另一个特点是,其自由能比同种材料晶态的自由能高,即处于一种亚稳态,有向平衡态(稳定态)转变的趋势。但是从亚稳态转变为自由能低的平衡态,必须克服一定的势垒。因此,非晶态及其结构具有相对的稳定性。这种相对稳定性直接关系着非晶态材料的使用寿命和应用。典型的非晶态材料是玻璃,此外,由蒸发、溅射、CVD等方法在基片温度较低时制得的许多薄膜都属于非晶态。