材料形成非晶态的能力主要取决于其化学成分
除了制备条件之外，材料形成非晶态的能力主要取决于其化学成分。一般来说金属元素不容易形成非晶态结构。这是因为金属原子间的键合不存在方向性，因而要抑制金属原子间形成有序排列，需要的过冷度较大。合金或化合物形成非晶态结构的倾向明显高于单一组元，因为化合物的结构一般较复杂，组元间在晶体结构、点阵常数、化学性质等方面存在一定差别，而不同组元之间的相互作用又大大抑制了原子的扩散能力。在单一组元之中，Si,Ge,C,S等非金属元素形成非晶态结构的倾向性较大。这是因为这类元素形成共价键的倾向大，只要近邻原子配位满足要求，非晶态与晶态物质之间的能量差别较小。例如，在有氢存在的条件下，Si原子将形成大量的H键，因而在800K沉积出的Si薄膜仍可能具有非晶态结构。
