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非晶态薄膜材料的薄膜生长也可以采取柱状的生长方式

    非晶态薄膜材料的薄膜生长也可以采取柱状的生长方式。如Si、SiO2等材料在较低的温度下,都可以形成非晶的柱状结构。对Ge、Si等薄膜材料进行深入研究时,发现这类材料的柱状形貌的发育可以被划分为纳米级的、显微的,以及宏观的三种柱状组织。非晶态Ge薄膜中30%Au-70%Co合金薄膜是典型的非晶态薄膜,在平衡状态下,这一成分的固态合金组织应为Au,Co两组元固溶体的混合物。为抑制晶体核心的形成,将衬底温度降低至80K后进行蒸发沉积。在沉积后将薄膜加热至不同的温度并观察其组织变化。