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技术文章

低沉积速率使膜层结构疏松

    低沉积速率使膜层结构疏松,电子越过其势垒产生电导的能力弱,加上氧化和吸附作用,所以电阻值较高,电阻温度系数偏小,甚至为负值。随着沉积速率的增大,电阻值也由大到小,而温度系数却由小到大,由负变正。这是由于低沉积速率的薄膜由于氧化而具有半导体特性,所以温度系数出现负值;而高沉积速率薄膜趋向金属的特性,所以温度系数为正值。因此,一般情况下,也希望有较高的沉积速率。但对特定的材料要从具体的实验中正确选择*的沉积速率。