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薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关

    薄膜结构与沉积原子的人射方向也有关。原子人射角的大小对薄膜结构有很大影响,使薄膜产生各向异性。随着结晶颗粒的增大,而入射的沉积原子就逐渐沿着原子的人射方向长大,于是会产生所谓的自身影响效应,从而使薄膜表面出现凹凸不平,缺陷较多,并出现各向异性。这种沿原子人射方向生长的倾向,在人射角越大时,表现得越严重。