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技术文章

现代薄膜分析方法

    针对不同的研究对象,常常需要采用不同的研究手段,对于薄膜材料的结构或成分分析的研究也如此。对于早期的光学涂层薄膜材料,人们对其研究主要涉及薄膜的厚度、均匀性以及它的光学性能。在电子技术发展以后,人们对薄膜的研究相应地扩展到了薄膜的各种结构特征、成分分布、界面性质以及光学性质。目前,随着薄膜材料运用的多样化,其研究手段和对象也越来越广泛。特别是在对各种微观物理现象利用的基础上,发展出了一系列新的薄膜结构和成分的分析手段,这为薄膜材料的深人研究提供了现实的可能性。