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技术文章

薄膜的力学性质概述

    薄膜的力学性质主要包括附着性质、应力性质、弹性性质和机械强度等。薄膜和基片之间的附着性能好坏将直接影响到薄膜的使用性能。在某些情况下还需考虑薄膜的其他力学性能,如主要用于增强基体的硬度与耐摩擦能力的超硬薄膜,则需要考虑耐压强度。