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    薄膜在基片上的附着性能决定了薄膜应用的可能性和可靠性。附着的定义为:薄膜与基片保持接触，两者的原子互相受到对方的吸附作用的状态。把单位面积的薄膜从基片上准静态地剥离下来所需的力为附着力，所需要的能量为附着能。