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    薄膜在基片表面上的附着，是范德华力、扩散附着、机械锁合、静电引力等多种因素综合作用的结果。如薄膜材料与基片形成化合物，化学键力成为主要的附着作用力。薄膜的附着力可分为简单附着、扩散附着、通过中间层附着和宏观效应附着等四种类型。