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    维氏硬度计是以金刚石压入试样后，用所得压痕对角线的长度值(单位一般为微米)进行计算而求得硬度值的。金刚石压头的形状是一四方角锥体，锥面夹角为1360，它的压痕是一个压下去的四方角锥体。对于薄膜来说，过深的压痕其形变的影响范围有可能达到基片，这时测得硬度就不准确了。因此为了能准确测量薄膜的硬度，基片厚度至少应是压痕深度的10倍以上，也就是载荷重量应尽可能地小。