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技术文章

薄膜的电学性质

    薄膜的电学性质,如电阻率、电阻温度系数、介电常数等及其与膜厚、外加电场、环境温度等的关系直接决定了薄膜在各种实际应用中的性能。金属薄膜、介质薄膜、半导薄膜和超导体薄膜的电学性质都不一样。