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    虽然介质薄膜的空位、位错、裂缝等缺陷以及氧化物、化学计量比偏离、杂质等缺陷均多于相应的块状材料，但介质薄膜的介电机理、损耗机理与击穿机理等仍可用块状介质材料的相应机理表述。
    介质薄膜的极化
    当垂直于介质薄膜加一电场时，其表面就有感生束缚电荷出现，称为介质薄膜的极化，其实质就是介质薄膜内的原子核、电子云、离子等在电场作用下发生定向移动和某些具有偶极矩的分子在电场作用下定向排列。常用极化强度尸来表示束缚电荷的多少。