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全固态绝缘的平板型多层薄膜开关

    如图I,所研制的平板型薄膜开关的结构与两电极的气体开关结构相似,由两个圆柱型的电极2和3组成,两个电极之间采用一层或多层(儿微米或几十微米厚的)薄膜绝缘。通过调节结构4可以将两个电极之间的绝缘薄膜紧压在一起。开关的机械触发部分由电磁铁、复位弹簧、绝缘杆和触发针组成。其中触发针采用耐冲击并具有一定硬度的皮青铜材料加工而成,可在复位机构的作用下复位。
    平板型薄膜开关的总电感主要来源于开关电极及其与平板型Blumlein传输线连接的过渡部分的电感,其总电感值<10 nH.o