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基片温度对薄膜结构也有较大影响

    基片温度对薄膜结构也有较大影响。基片温度高,使吸附原子的动能随着增大,跨越表面势垒的几率增大,容易结晶化,并使薄膜缺陷减少,同时薄膜内应力也会减小。基片温度低,则易形成无定形结构的薄膜。基片温度的选择要视具体情况而定。一般说来,如果沉积的膜层比较薄,当基片温度比较低时,沉积室内的金属原子很快失去动能,并在基片表面上凝结,这时的膜层比较均匀致密,当基片温度过高时反而会出现大颗晶粒,使膜层表面粗糙.如果沉积比较厚的膜层,一般要求基片温度适当高一些,可以减少膜的内应力。