欢迎访问扬州欣达电子有限公司网站! 关于我们 联系我们

专注于薄膜开关,薄膜面板等研发与生产

安全省心,有效控制成本

img

咨询热线:

0514-86859177

img

咨询热线:

13805251384

您的位置:首页 > 新闻资讯 > 技术文章
PRODUCT CENTER
产品中心
行业资讯
企业动态
技术文章
咨询热线

0514-86859177

技术文章

沉积的薄膜,经过热处理可以改善其结构和性能

    沉积的薄膜,经过热处理可以改善其结构和性能。对于单一金属薄膜,经过热处理可使晶格排列较整齐些。对于合金材料和氧化物材料,经过热处理会使各组分相互扩散,获得所需的固溶体。热处理可以部分地消除晶格缺陷,改善薄膜热稳定性,又可清除内应力,增强薄膜与基片的附着力,同时还可消除膜层中气体分子的吸附,在薄膜表面生成一层氧化保护层,从而保护膜层免受侵蚀和污染。
    基片的表面状态对薄膜的结构质量也有很大影响。如果基片表面粗糙度低、表面清洁,则所获得的膜层结构致密,容易结晶,否则相反,而且附着力也差。
    真空度的高低也直接影响薄膜的结构和性能,真空度低,材料受残余气体分子污染严重,薄膜性能变差,即使在高真空的情况下,薄膜中也免不了有吸附气体分子,提高温度有利于气体分子的解吸。