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技术文章

连续金属薄膜的导电性质与形状效应

    连续金属膜含的各种微缺陷使它在导电性质上与块状金属有较大差异,从而形成了以下几个特点:
    (1)薄膜电阻率与薄膜厚度有密切关系,电阻率随膜厚的增大逐渐减小并趋于稳定值。薄膜电阻率始终大于块状金属电阻率。
    (2)薄膜电阻率的温度系数,霍耳系数、热电势都与膜厚有关。
    (3)薄膜电阻率随薄膜晶粒尺寸的增加逐渐减小并趋于稳定值。