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多通道薄膜表面放电薄膜开关

多通道薄膜表面放电薄膜开关如图3所示。薄膜开关包括两个由薄膜-气体介质界面绝缘的平行板状主电极和一列放置于主电极之间的触发电极,触发系统对多个触发电极同步施加电压脉冲而引发主电极导通,触发系统与前述场畸变薄膜开关中的相同,薄膜开关置于有机玻璃室中,其中分别充以不同气压的空气、SF6或抽真空。实验发现,在所有情况下,触发开关中12个平行放电间隙并不困难,但只有在使用真空和压缩空气时,输出脉冲形状才接近方波。能够获得的最快前沿大大超出了1ns的设计指标,约8ns,脉冲的幅值也仅达到3.5kV,波形更不规则(图4)。