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技术文章

薄膜面板主要无机废气污染物治理技术措施

 1.酸性废气处理措施。
  酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液蚀刻、清洗过程,其主要污染物为氯化氢、氮氧化物等,可以通过设置NaOH碱液喷淋塔吸收系统进行处理,处理装置对污染物的去除率大于95%,喷淋液为NaOH水溶液。酸废气喷淋洗涤塔的喷林液溶液循环使用,并定期排放至废水处理站,废水经处理后再排放。根据喷淋塔循环液的pH值补充NaOH溶液。
  2.碱性废气处理措施。
  碱性废气主要来源于光刻工序中使用四甲基氢氧化胺(TMAH)挥发,主要污染物为TMAH。碱性废气通过酸液喷淋吸收系统(吸收液为H2SO4水溶液)进行处理。碱废气喷淋洗涤塔的溶液循环使用,并定期排放至废水处理站,废水经处理后再排放。
  碱性废气处理设备对污染物的去除效率大于95%。H2SO4供液装置通过双层管道供至酸液喷淋塔H2SO4供液泵系统。根据喷淋塔循环液的pH值补充H2SO4。
  3.有毒废气处理措施。
  有害废气(CVD)的处理设备,其净化效率大于95%,喷淋液为NaOH水溶液。NaOH供液装置通过双层管道供至碱液喷淋塔NaOH供液泵系统,并根据喷淋塔循环液的pH值补充NaOH。有害废气(CVD)喷淋洗涤塔的碱溶液循环使用,并定期排放,全部纳入废水处理站含氟废水处理系统处理后再排放。